國瑞熱控12英寸半導體加熱盤專為先進制程量產需求設計，采用氮化鋁陶瓷與高純銅復合基材，通過多道精密研磨工藝，使加熱面平面度誤差控制在0.015mm以內，完美貼合大尺寸晶圓的均勻受熱需求！內部采用分區式加熱元件布局，劃分8個**溫控區域，配合高精度鉑電阻傳感器，實現±0.8℃的控溫精度，滿足7nm至14nm制程對溫度均勻性的嚴苛要求！設備支持真空吸附與靜電卡盤雙重固定方式，適配不同類型的反應腔結構，升溫速率達20℃/分鐘，工作溫度范圍覆蓋室溫至600℃，可兼容PVD、CVD、刻蝕等多道關鍵工藝！通過與中芯國際、長江存儲等企業的深度合作，已實現與國產12英寸晶圓生產線的無縫對接，為先進制程規模化生產提供穩定溫控支撐！以客戶需求為導向，快速響應詢價定制，誠信合作。中國臺灣探針測試加熱盤非標定制

面向半導體實驗室研發場景，國瑞熱控小型加熱盤以高精度與靈活性成為科研得力助手！產品尺寸可定制至10cm×10cm，適配小規格晶圓與實驗樣本的加熱需求，溫度調節范圍覆蓋室溫至500℃，**小調節精度達1℃！采用陶瓷加熱元件與鉑電阻傳感器組合，控溫穩定性達±0.5℃，滿足材料研發中對溫度參數的精細控制！設備支持USB數據導出功能，可實時記錄溫度變化曲線，便于實驗數據追溯與分析！整體采用便攜式設計，重量*1.5kg，且具備過熱保護功能，當溫度超過設定閾值時自動斷電，為半導體新材料研發、工藝參數優化等實驗工作提供可靠溫控工具！重慶晶圓級陶瓷加熱盤生產廠家嚴格老化測試檢驗，確保產品零缺陷，品質保證。

針對碳化硅襯底生長的高溫需求，國瑞熱控**加熱盤采用多加熱器分區布局技術，**溫度梯度可控性差的行業難題！加熱盤主體選用耐高溫石墨基材，表面噴涂碳化硅涂層，在2200℃高溫下仍保持結構穩定，熱導率達180W/mK，適配PVT法、TSSG法等主流生長工藝！內部劃分12個**溫控區域，每個區域控溫精度達±2℃，通過精細調節溫度梯度控制晶體生長速率，助力8英寸碳化硅襯底量產！設備配備石墨隔熱屏與真空密封結構，在10??Pa真空環境下無雜質釋放，與晶升股份等設備廠商聯合調試適配，使襯底生產成本較進口方案降低30%以上，為新能源汽車、5G通信等領域提供**材料支撐！

國瑞熱控封裝測試**加熱盤聚焦半導體后道工藝需求，采用輕量化鋁合金材質，通過精密加工確保加熱面平整度誤差小于0.05mm，適配不同尺寸封裝器件的測試需求！加熱元件采用片狀分布設計，熱響應速度快，可在5分鐘內將測試溫度穩定在-40℃至150℃之間，滿足高低溫循環測試、老化測試等場景要求！表面采用防粘涂層處理，減少測試過程中污染物附著，且易于清潔維護！配備可編程溫控系統，支持自定義測試溫度曲線，可存儲100組以上測試參數，方便不同型號器件的測試切換！與長電科技、通富微電等封裝測試企業合作，適配其自動化測試生產線，為半導體器件可靠性驗證提供精細溫度環境，助力提升產品良率！精湛工藝嚴格質檢，性能優異經久耐用，口碑載道。

無錫國瑞熱控PVD工藝**加熱盤，專為物***相沉積環節的嚴苛溫控需求設計！作為晶圓加工的**載體與射頻回路下電極，其采用陶瓷與高純金屬復合基材，經精密研磨確保加熱面平面度誤差小于0.02mm，為薄膜均勻生長提供穩定基底！內部螺旋狀加熱元件與均溫層協同作用，使晶圓表面溫度均勻性控制在±1℃以內，適配6英寸至12英寸不同規格晶圓！設備整體采用無揮發潔凈工藝處理，在高真空環境下無雜質釋放，搭配快速升溫技術（升溫速率達30℃/分鐘），完美契合PVD工藝中對溫度穩定性與生產效率的雙重要求，為半導體薄膜制備提供可靠溫控支撐！結構緊湊安裝便捷，多重安全保護，使用安心無顧慮。上海半導體晶圓加熱盤生產廠家

細節處精心設計，接口布線密封優良，性能穩定持久。中國臺灣探針測試加熱盤非標定制

國瑞熱控半導體加熱盤**散熱系統，為設備快速降溫與溫度穩定提供有力支持。系統采用水冷與風冷復合散熱方式，水冷通道圍繞加熱盤均勻分布，配合高轉速散熱風扇，可在 10 分鐘內將加熱盤溫度從 500℃降至室溫，大幅縮短工藝間隔時間。散熱系統配備智能溫控閥，根據加熱盤實時溫度自動調節水流量與風扇轉速，避免過度散熱導致的能耗浪費。采用耐腐蝕管路與密封件，在長期使用過程中無漏水風險，且具備壓力監測與報警功能，確保系統運行安全。適配高溫工藝后的快速降溫需求，與國瑞加熱盤協同工作，形成完整的溫度控制閉環，為半導體制造中多工藝環節的連續生產提供保障。中國臺灣探針測試加熱盤非標定制

無錫市國瑞熱控科技有限公司在同行業領域中，一直處在一個不斷銳意進取，不斷制造創新的市場高度，多年以來致力于發展富有創新價值理念的產品標準，在江蘇省等地區的電工電氣中始終保持良好的商業口碑，成績讓我們喜悅，但不會讓我們止步，殘酷的市場磨煉了我們堅強不屈的意志，和諧溫馨的工作環境，富有營養的公司土壤滋養著我們不斷開拓創新，勇于進取的無限潛力，無錫市國瑞熱控科技供應攜手大家一起走向共同輝煌的未來，回首過去，我們不會因為取得了一點點成績而沾沾自喜，相反的是面對競爭越來越激烈的市場氛圍，我們更要明確自己的不足，做好迎接新挑戰的準備，要不畏困難，激流勇進，以一個更嶄新的精神面貌迎接大家，共同走向輝煌回來！